海德漢HEIDENHAIN光柵尺

典型應(yīng)用包括：

• 半導(dǎo)體業(yè)的測(cè)量和生產(chǎn)設(shè)備
• PCB電路板組裝機(jī)
• 超高精度機(jī)床
• 高精度機(jī)床
• 測(cè)量機(jī)和比較儀，測(cè)量顯微鏡和其它精密測(cè)量設(shè)備
• 直驅(qū)電機(jī)

線性編碼器測(cè)量
無(wú)附加機(jī)械裝置的線性軸
傳輸元素。一些潛在的
從而消除了錯(cuò)誤源：
•由于發(fā)熱導(dǎo)致的定位誤差
在循環(huán)滾珠絲杠中
•反向誤差
•滾珠絲杠運(yùn)動(dòng)誤差
螺距誤差
因此，線性編碼器是*的。
用于高定位的機(jī)床
精度和高加工率
*。
暴露的線性編碼器用于
要求高的機(jī)器和設(shè)備
測(cè)量精度。典型應(yīng)用
包括以下內(nèi)容：
•測(cè)量和生產(chǎn)設(shè)備
半導(dǎo)體工業(yè)
•印刷電路板組裝機(jī)
•超精密機(jī)器和設(shè)備
如光學(xué)用金剛石車(chē)床
磁性表面車(chē)床部件
存儲(chǔ)盤(pán)和研磨機(jī)
鐵氧體成分
•高精度機(jī)床
•測(cè)量機(jī)和比較儀，
測(cè)量顯微鏡和其他
精密測(cè)量裝置
•直接驅(qū)動(dòng)
機(jī)械設(shè)計(jì)
暴露的線性編碼器由刻度組成
或是卷尺和掃描頭
無(wú)機(jī)械接觸操作。
暴露的線性編碼器的刻度為
固定在安裝面上。高
因此，安裝表面的平整度為
對(duì)高的重要要求
精確 

高真空和超高真空技術(shù)

我們的標(biāo)準(zhǔn)編碼器適用于低真空或中等真空應(yīng)用。高真空或超高真空應(yīng)用的光柵尺需要滿足一些特殊要求。采用的設(shè)計(jì)和材質(zhì)必須滿足應(yīng)用要求。更多信息，參見(jiàn)“真空中應(yīng)用的直線光柵尺”產(chǎn)品信息。

以下敞開(kāi)式直線光柵尺于高真空或超高真空應(yīng)用環(huán)境。

• 高真空：LIP 481 V和LIF 481 V 
• 超高真空：LIP 481 U

二維坐標(biāo)測(cè)量

PP二維編碼器的測(cè)量基準(zhǔn)是平面DIADUR工藝制造的相位光柵，采用干涉掃描方法。用于測(cè)量平面中位置。

詳見(jiàn)：海德漢HEIDENHAIN光柵尺